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电子级用水标准

1、范围

GB/T 11446.1-2013 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。
本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。

2、水质标准

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3、水质检验

(1)电阻率

电子级水的电阻率按GB/T 11446.4-013进行测定。

(2)全硅含量(以二氧化硅计)

电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T 11446.6-2013进行测定。

(3)微粒数

电子级水中微粒数按GB/T 11446.9-2013进行测定。 

(4)细菌总数

电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10-2013进行测定。

(5)痕量金属含量

电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5-2013进行测定。 

(6)氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按GB/T 11446.7-2013进行测定。

(7)总有机碳含量

电子级水中总有机碳含量按GB/T 11446.8-2013进行测定。


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